UHV Systems & Components
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IS 40E1是一款扫描离子源。可以在一定区域内对样品表面进行扫描式溅射（工作距离23 mm时，扫描范围为10 mm···
离子源（Ion Source），顾名思义，发射离子的。俗称离子枪。又因通常用Ar作为工作气体，发射出Ar+，所以也···
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